热压氮化硅主要性能指标: (表 1)
性能 热压烧结氮化硅
体积密度(g/cm
3 )
3.2~3.4
抗弯强度(Mpa) ≥900
断裂韧性(Mpa.m
1/2 )
6~8
硬度(HV)(Gpa) 15~17
导热系数(W/m.k) 23~25
热膨胀系数×10
-6 /℃
(0~1400℃)
2.95~3
由于氮化硅陶瓷具有高温机械强度高、耐磨,耐酸、碱腐蚀等优
异性能,
性能参数:
室温抗折强度:800-900Mpa。室温断裂韧性:6.0-7.0Mpa.m 1/2
体积密度:3.20-3.25g/cm 3 室温体积电阻率:10 14 Ω.cm
室温相对折电常数:6-7MHZ。热导率:20-25W.(M.K) -1
热澎涨系数:3.1×10
-6 /℃
硬度: HRA 92-94
本氮化硅材料是由氮化硅粉加上配方成型后,通过热压烧结成。